|
|
| ESML5116 | İnce Film Teknolojileri | 3+0+0 | AKTS:7.5 | | Yıl / Yarıyıl | Güz Dönemi | | Ders Duzeyi | Yüksek Lisans(Tezli) | | Yazılım Şekli | Seçmeli | | Bölümü | ENERJİ SİSTEMLERİ MÜHENDİSLİĞİ ANABİLİM DALI | | Ön Koşul | Yok | | Eğitim Sistemi | Yüz yüze | | Dersin Süresi | 14 hafta - haftada 3 saat teorik | | Öğretim Üyesi | Prof. Dr. İsmail POLAT | | Diğer Öğretim Üyesi | | | Öğretim Dili | Türkçe | | Staj | Yok | | | | Dersin Amacı: | | İnce film teknolojileri ve mühendislik uygulamalarının temellerinin öğrenilerek literatür araştırması ve sunumunun yapılması. |
| Öğrenim Kazanımları | PÖKK | ÖY | | Bu dersi başarı ile tamamlayan öğrenciler : | | | | ÖK - 1 : | Vakum teknolojileri ve gaz kinetiğinin temellerini öğrenmek | 1,2,3 | 1, | | ÖK - 2 : | İnce film üretim tekniklerinin temellerinin öğrenilmesi | 1,2,3 | 1, | | ÖK - 3 : | İnce film buharlaştırma ve depozitleme tekniklerini öğrenme ve kullanabilme becerisi | 1,2,3 | 1, | | ÖK - 4 : | İnce filmlerin mühendislik uygulamalarının öğrenilmesi | 1,2,3 | 1, | | PÖKK :Program öğrenim kazanımlarına katkı, ÖY : Ölçme ve değerlendirme yöntemi (1: Yazılı Sınav, 2: Sözlü Sınav, 3: Ev Ödevi, 4: Laboratuvar Çalışması/Sınavı, 5: Seminer / Sunum, 6: Dönem Ödevi / Proje),ÖK : Öğrenim Kazanımı | | |
| İnce film fiziğinin temelleri; ince filmlerin hazırlanması: buharlaştırma, saçılma, kimyasal buharda büyütme, elektrokimyasal depolama; İnce filmlerin büyütülmesi, buharlaştırma oranları ve film kalınlıklarının ölçülmesi; ince filmlerin kimyasal analizleri, ince filmlerin mekaniksel, elektriksel ve optik özellikleri; mühendislik uygulamaları |
| |
| Haftalık Detaylı Ders Planı | | Hafta | Detaylı İçerik | Önerilen Kaynak | | Hafta 1 | İnce film teknolojilerine giriş | | | Hafta 2 | Vakum teknolojilerine giriş, gaz kinetiği ve ilgili matematiksel modeller | | | Hafta 3 | İnce Film büyütme tekniklerine giriş, araştırma konularının belirlenmesi | | | Hafta 4 | İnce filmlerin hazırlanması, fiziksel buharda büyütme | | | Hafta 5 | Termal ve e-beam buharlaştırma | | | Hafta 6 | Saçtırma tekniği | | | Hafta 7 | Kimyasal püskürtme yöntemiyle büyütme | | | Hafta 8 | Elektrokimyasal depolama | | | Hafta 9 | Arasınav | | | Hafta 10 | Darbeli lazer depolama | | | Hafta 11 | İnce filmlerin büyütülmesi, ve film kalınlıklarının ölçülmesi | | | Hafta 12 | İnce filmlerin kimyasal analizleri | | | Hafta 13 | İnce filmlerin mühendislik uygulamaları | | | Hafta 14 | Dönem projeleri sunumları | | | Hafta 15 | Dönem projeleri sunumları | | | Hafta 16 | Final Sınavı | | | |
| 1 | Donald Smith, 2007, Thin-Film Deposition: Principles and Practice, Prentice Hall | | | |
| Ölçme Yöntemi | | Yöntem | Hafta | Tarih | Süre (Saat) | Katkı (%) | | Arasınav | 9 | 12/10/2021 | 60 | 50 | | Dönem sonu sınavı | 16 | 12/10/2021 | 60 | 50 | | |
| Öğrenci Çalışma Yükü | | İşlem adı | Haftalık süre (saat) | Hafta sayısı | Dönem toplamı | | Yüz yüze eğitim | 3 | 14 | 42 | | Sınıf dışı çalışma | 1 | 14 | 14 | | Arasınav için hazırlık | 5 | 2 | 10 | | Arasınav | 1 | 1 | 1 | | Dönem sonu sınavı için hazırlık | 7 | 1 | 7 | | Toplam Çalışma Yükü | | | 74 |
|